trichlorsilan

Trichlorsilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) je bezbarvá, vysoce těkavá kapalina s ostrým, dusivým chlorovodíkovým zápachem. Vroucí při 31,8 stupních a prudce reagující s vlhkostí je klíčovou surovinou pro proces společnosti Siemens pro výrobu-polysilikonu vysoké čistoty pro fotovoltaické solární články a polovodičové wafery. TCS se také široce používá při růstu křemíkových epitaxních plátků, organosilikonové syntéze (silikonové oleje, kaučuky, pryskyřice, vazebná činidla), CVD nanášení tenkých vrstev křemíku a jako selektivní redukční činidlo v organické syntéze. K dispozici v průmyslové kvalitě (Větší nebo rovna 99,0 %) a elektronické kvalitě (čistota až 9N). Klasifikován jako reagující s vodou a vysoce hořlavý (UN 1295, třída 4.3+2.3, PG I) s extrémně širokým rozsahem výbušnosti 1,2 %–90,5 %; manipulujte pouze za přísně bezvodých podmínek s ochranou suchým dusíkem.